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薄膜生长技术是什么
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2020-10-12
薄膜生长技术总的来说可以分为物理方法和化学方法。常见的薄膜生长技术包括：热氧化法、物理气相沉积和化学气相沉积。薄膜材料是指厚度介于单原子到几毫米间的薄金属或有机物层。薄膜的生长是半导体制造中一项重要的工艺。
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