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软微影技术是什么

软微影技术是什么

2458 人点赞 2020-10-12

软微影技术(soft lithography)，又称软微影制程、可挠性奈米转印、软蚀刻技术或软光刻技术，是一种用软性高分子材质做成的可挠性刻印的模具。

光刻

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